가상리액터(Virtual Reactor NE)
III-Nitrides 화합물의 bulk crystals and thin film epitaxy 시뮬레이션 소프트웨어 툴
-해석가능한 리액터 구조 조건: 축대칭 또는 2D plane 전제하에서 해석 가능
-사용자: 리액터 구조 정의 및 성장조건 설정
-사용 가능한 MO소스 및 캐리어가스
MOCVD-GaN from TMGa and NH3 with H2 and N2
MOCVD-AlN from TMAl and NH3 with H2 and N2
MOCVD-InGaN_TMGa from TMGa, TMIn, and NH3 with N2
MOCVD_InGaN_TEGa from TEGa, TMIn and NH3 with N2
MOCVD-AlGaN from TMAl, TMGa and NH3 with H2 and H2
MOCVD-AllnN from TMAl, TMIn and NH3 with N2
VR NE에 적용가능한 리액터 모델
-Planetary reactors
-High speed rotation Turbodisc reators
-Horizontal reactors
-Close-coipled showerhead reactors
-Home-made reactors that can be simulated within a 2D plane or axisymmetric model
-리액터 구조와 성장조건의 최적화 기능
Global Heat transfer 문제 해석
-유도가열(축대칭 조건시 적용됨):유도가열에의해 발생하는 맥스웰방정식을 이용한 주울열의 계산
-저항가열:히터의 균일한 열방출을 가정한 후 히터를 블럭의 유닛으로 나누어 전력밀도나 열방출계수를 각 유닛에 정의 할수 있음
-온도피팅:원하는 온도를 유지하기 위해 필요한 전력을 예측
-성장시스템에 사용된 물질의 열전도도를 온도의 함수로 정의 가능하고 비등방성 열전도도 정의 가능
-투명한 가스 블럭에서의 대류와 복사열전달 모델링 가능
Mass Transport 문제
-mixture 열전도도와 점도가 분자운동이론으로 계산
-multi-component diffusion of reactive species
-Homogenious chemistry
-Gas-phase nucleation and transport of nanoparticles
-Turbluent flow
-Modeling of surface chemistry on chemically reactive surfaces of the substrate and parasitic deposition on the reactor side walls accounting
for the kinetic limitations
-
