STREEM AlGaN edition 시뮬레이션 능력 AlGaN/GaN heterostructure Stress&Relaxation 해석 -에피 레이어의 순서 또는 다양한 에피 프로세스 파라미터 조절을 통해 에피구조 히팅,성장,냉각 단계에서 발생하는 Curvature Evolution 해석 -Stress & Relaxation and dislocation dynamics -Crack Formation by tensile stress -Structure Bow를 만드는 에피 성장 프로세스 파라미터 -Stress State in the particular layer via processing of in-situ curvature data
