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HVPE 시뮬레이션

작성자
: infotc
등록일
: 2023-12-03
조회수
: 300
댓글
: 0
첨부파일

첨부된 파일은 HVPE방식의 가상리액터인 HEpiGaNS와 관련된
자료입니다.
GaN, AlN, AlGaN bulk crystal 성장시 thermal stress, deposition distribution on the reactor wall, crystal shape, threading dislocation density 을 예측함.. 자세한 내용은 첨부파일의HEpiGaNS62.pdf 참고

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