Modeling Solution for G5+C Reactor
첨부파일: 아래 2 소프트웨어 프리젠테이션 자료
-Virtual Reactor 시뮬레이션 소프트웨어
-STREEM AlGaN 시뮬레이션 소프트웨어
1. AlGaN Buffer Layer: Parasitic reactions and uniformity 최적화
2. Carbon incorporation in GaN and AlGaN
3. AlGaN Barrier Layer: thickness and composition uniformity 최적화
